溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及其表征  

Preparation of ZnO Thin Film by Sol-gel Method and Its Characterization

作　　者：潘吉浪[1] 尹荔松[1] 高松华[1] 向成承[1] 李婷[1] 闻立时[1] 

机构地区：[1]中南大学物理科学与技术学院,湖南长沙410083

出　　处：《纳米科技》2007年第3期38-40,共3页

基　　金：中国博士后基金资助项目（20060390878）

摘　　要：用溶胶-凝胶法在普通玻璃表面制备了ZnO薄膜，并通过XRD、SEM、UV—VIS、DSC—TGA等测试手段对ZnO薄膜进行了表征。研究表明：溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜透明，薄膜表面均匀分布着片状ZnO晶粒；随着退火温度的升高，ZnO晶粒在17～30nm范围内逐渐增大。ZnO thin films deposited on glass substrate by sol-gel method were characterized by using XRD, SEM, UV- VIS and DSC-TGA. The research results show that the ZnO films prepared by sol-gel are transparent, and consist of well-dispersed laminated ZnO crystals. With the temperature increasing, the grain size of ZnO increases from 17 to 30nm.

关 键 词：ZNO薄膜 溶胶-凝胶 晶粒尺寸 

分 类 号：O641.3[理学—物理化学] TB43[理学—化学]