离子束增强沉积技术在制备优良抗蚀膜层方面的研究进展  

作　　者：傅永庆[1] 徐可为[1] 何家文[1] 

机构地区：[1]西安交通大学

出　　处：《表面技术》1997年第1期1-5,共5页Surface Technology

摘　　要：介绍了一种新型表面改性技术——离子束增强沉积技术的原理、方法,综述了该技术在制备优良抗蚀膜层方面的优势及最新研究进展。

关 键 词：离子束增强沉积 抗蚀性 镀膜 表面改性 金属 

分 类 号：TG174.44[金属学及工艺—金属表面处理] TG178[金属学及工艺—金属学]