MEMS传感器的标准化现状与发展对策  

Status and countermeasure of MEMS sensors standardization

作　　者：陈勤[1] 范树新[2] 张维波[2] 

机构地区：[1]信息产业部标准化研究所,北京100007 [2]中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《传感器与微系统》2007年第8期6-8,共3页Transducer and Microsystem Technologies

摘　　要：随着MEMS传感器在各个领域的广泛应用,传感器领域的标准化工作思路和技术路线发生了变化。论述了目前国内外MEMS传感器标准的现状,并就国内外MEMS传感器标准体系的发展过程、特点、标准体系存在的问题、与现有半导体标准的关系进行了分析探讨,同时,对我国MEMS传感器标准的发展对策提出了建议。With the application of MEMS sensor in a lot of fields, working theories and technique ways of standardization in sensor fields are changed. The current status of MEMS sensor standardization at home and abraod is discussed, and the development process, characteristics and existing problems of MEMS sensor system in connection with current semicondition standardization are analyzed. The proposal of MEMS sensor development is provided.

关 键 词：微电子机械系统 传感器 标准 半导体 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]