MEMS可调谐VCSEL的研究进展  

Research and advances of MEMS tunable VCSEL

作　　者：李文兵[1] 韩勤[1] 杨晓红[1] 朱彬[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所光电子研发中心,北京100083

出　　处：《光通信技术》2007年第9期40-43,共4页Optical Communication Technology

基　　金：国家自然科学基金(No.60376025)资助;973国家重点基础研究发展计划(No.2006CB302802)

摘　　要：随着全光网络和DWDM系统的发展,MEMS可调谐VCSEL由于其优越的性能,有着相当广泛的应用前景。文章从结构差异上,将近几年来国际上的有关报道分成了单悬臂型,可变形介质模型,半对称腔型和掩埋隧道结型等四类,并对每一类型作了详细的介绍。With the development of the all-optic-network and Dense Wavelength Division Multiplexed systems （DWDM）, there are rather large potential applications of the Micro-Electro-Mechanical Systems （MEMS） tunable Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers （VCSELs） for their perfect properties. In this article, the tunable VCSELs which reported from international recently, are divided into four typical categories： single cantilever, deformable membrane, half-symmetric cavity and buried tunnel junction; and each of them is reviewed clearly.

关 键 词：可调谐VCSEL 微机电系统 密波分复用技术 

分 类 号：TN929.11[电子电信—通信与信息系统]