微机械梳状驱动陀螺仪的理论分析  

Theory Analysis of Micromachined Comb-Drive Gyroscope

作　　者：郭秀中[1] 阮爱武[2] 

机构地区：[1]南京航空航天大学三系 [2]西安飞行自动控制研究所

出　　处：《传感器技术》1997年第3期23-26,共4页Journal of Transducer Technology

基　　金：航空基础科学基金

摘　　要：在导出静电驱动力表达式的基础上，论述微机械梳状驱动陀螺仪的工作原理和动力学方程，并说明了陀螺仪参数对测量灵敏度的影响．Based on deriving the formulae of electrostatic drive force, the principle and dynamic equations of micromachined comb-drive gyroscope are discussed.The effection of gyro parameters on the detection sensitivity is illustrated also.

关 键 词：微机械陀螺仪 梳状驱动 动力学方程 测量灵敏度 

分 类 号：V241.59[航空宇航科学与技术—飞行器设计]