微等离子体及其应用  

Microplasma and its applications

作　　者：张树宇[1] 辛煜[1] 宁兆元[1] 梁荣庆[2] 

机构地区：[1]苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室,苏州215006 [2]复旦大学现代物理研究所,上海200433

出　　处：《物理》2007年第10期771-776,共6页Physics

基　　金：国家自然科学基金(批准号:10305008)资助项目

摘　　要：微等离子体已成为近年来国际上低温等离子体研究的热点课题之一。微等离子体是被限制在一个有限的空间范围内(尺度为毫米量级甚至更低)的等离子体,它通常能够运行在大气压条件下,它的低功耗、高密度、高稳定等特性以及其小巧、经济、便携等优势,为其在紫外光源的获得、微化学分析系统、生物医学、材料表面改性和加工、环境污染物的处理等领域提供了广泛的应用空间。文章对微等离子体及其应用进行了综述,介绍了各种微等离子体源的产生方法,以及它们在不同领域的研究和应用情况。Microplasma is now becoming an important field of research on non - thermal plasma. Spatial confinement to dimensions of 1 mm or less and operation at atmospheric pressure gives microplasma many advantages like low power consumption, high density, high stability and convenient portability. All these advantages open the door to a wide range of new applications of microplasma in areas such as ultraviolet sources, analytical chemistry, biomedicine, surface treatment and environmental remediation. This paper reviews a variety of methods generating microplasma and its applications in different fields.

关 键 词：低温等离子体物理学 微等离子体 综述 大气压 表面处理 

分 类 号：O539[理学—等离子体物理]