宁兆元

作品数：114被引量：338H指数：10
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发文主题：等离子体氟化非晶碳薄膜ECR感应耦合等离子体光学带隙更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术核科学技术更多>>
发文期刊：《材料科学与工艺》《物理学进展》《中国稀土学报》《高分子材料科学与工程》更多>>
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电感耦合放电对双频容性耦合Ar-N_2等离子体物理特性的影响
《真空科学与技术学报》2015年第5期565-569,共5页张志辉 宁兆元 
国家自然科学基金项目(11075114)
电感耦合等离子体增强的容性耦合等离子体是一种新的等离子体源,采用这种放电方式可以获得高密度均匀的等离子体。本文主要利用朗缪尔单探针对以下几种放电方式的等离子体性质进行诊断:1双频(60,13.56 MHz)容性耦合等离子体;2电感(13.56...
关键词：电感耦合等离子体 容性耦合等离子体 郎缪尔探针 离子密度 电子温度 
不同激发频率下小型感应耦合等离子体特性研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2009年第5期504-508,共5页高璇 辛煜 黄晓江 宁兆元 
国家自然科学基金项目资助(No.10775103)
等离子体小型化后往往会产生一些独特的等离子体性质。本文采用朗谬尔探针和高分辨率发射光谱技术对不同激发频率下产生的小型感应耦合等离子体进行了测量,选用的三种频率为13.56MHz,27.12MHz和40.68MHz。朗谬尔探针的实验结果表明,随...
关键词：微感应耦合等离子体 朗谬尔探针 发射光谱 离子密度 电子温度 
不同射频输入功率下制备的氟化类金刚石碳膜疏水性研究被引量：7
《物理学报》2009年第9期6430-6435,共6页朱丽 江美福 宁兆元 杜记龙 王培君 
以高纯石墨作靶、氩气(Ar)和三氟甲烷(CHF3)为源气体,用反应磁控溅射法在不同射频功率下制备了氟化类金刚石碳(F-DLC)膜,并对其疏水性进行研究.双蒸水液滴与膜表面接触角的测试结果表明,所制备薄膜表面的最大水接触角可达115°左右.通...
关键词：疏水性 反应磁控溅射 氟化类金刚石膜 射频功率 
CHx掺杂SiCOH低介电常数薄膜的物性热稳定性分析被引量：1
《物理学报》2009年第1期575-579,共5页杜杰 叶超 俞笑竹 张海燕 宁兆元 
国家自然科学基金(批准号:10575074)资助的课题~~
研究了真空热处理对掺CH4的SiCOH低介电常数薄膜的电流-电压(I-V)特性、电容-电压(C-V)特性、疏水性能以及微结构的影响.结果表明:在热处理过程中,热稳定性较差的碳氢基团发生了热解吸,使薄膜的漏电流减小、绝缘性能改善,并使薄膜的导...
关键词：SiCOH薄膜 热处理 结构与性能 
13.56MHz低频功率对60MHz射频容性耦合等离子体的电特性的影响
《物理学报》2008年第11期7038-7043,共6页袁强华 辛煜 黄晓江 孙恺 宁兆元 
国家自然科学基金(批准号:10635010,10775103)资助的课题~~
使用补偿朗缪尔探针诊断技术,研究了60 MHz/13.56 MHz双频激发容性耦合等离子体的空间电子行为,得到了电子能量概率函数(EEPF)随径向位置和低频输入功率的演变行为.实验结果表明,13.56 MHz射频输入功率的变化主要影响低能电子的布居,其...
关键词：双频激发容性耦合等离子体 朗缪尔探针诊断 电子加热模式 
60MHz电容耦合等离子体中电子能量分布函数特性研究被引量：4
《物理学报》2008年第10期6465-6470,共6页孙恺 辛煜 黄晓江 袁强华 宁兆元 
国家自然科学基金(批准号:10635010,10775103)资助的课题~~
甚高频(频率大于30 MHz)耦合放电源由于能产生大面积高密度的等离子体而受到了人们的广泛关注.采用电流、电压探针以及朗缪尔探针诊断技术对60 MHz射频激发产生的容性耦合等离子体的放电特性及电子行为进行了研究.实验结果表明,等离子...
关键词：甚高频容性耦合等离子体 朗缪尔探针诊断 电子加热模式 
磁控共溅射法制备的Zn_2GeO_4多晶薄膜结构及其光致发光研究被引量：3
《物理学报》2008年第10期6507-6512,共6页王振宁 江美福 宁兆元 朱丽 
用射频磁控共溅射方法在不同温度的单晶硅基片上生长薄膜,然后在800℃真空环境下对薄膜进行退火处理,成功获得了结晶状态良好的Zn2GeO4多晶薄膜.利用X射线衍射(XRD),X射线光电子能谱(XPS)和原子力显微镜(AFM)对薄膜进行了结构、成分和...
关键词：射频磁控溅射 Zn2GeO4 荧光体 
微等离子体及其应用被引量：2
《物理》2007年第10期771-776,共6页张树宇 辛煜 宁兆元 梁荣庆 
国家自然科学基金(批准号:10305008)资助项目
微等离子体已成为近年来国际上低温等离子体研究的热点课题之一。微等离子体是被限制在一个有限的空间范围内(尺度为毫米量级甚至更低)的等离子体,它通常能够运行在大气压条件下,它的低功耗、高密度、高稳定等特性以及其小巧、经济、便...
关键词：低温等离子体物理学 微等离子体 综述 大气压 表面处理 
碳氟感应耦合等离子体的SiO_2介质刻蚀的研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2007年第2期146-150,共5页虞一青 辛煜 宁兆元 
国家自然科学基金(No.10305008)资助
使用感应耦合等离子体技术,通过改变源气体流量比R(R=[C4F8]/{[C4F8]+[Ar]})、射频源功率、自偏压等条件进行了SiO2介质刻蚀实验研究。碳氟等离子体的特征由朗谬探针和发射光谱技术来表征。结果表明,SiO2的刻蚀速率随放电源功率和射频...
关键词：感应耦合等离子体 发射光谱 介质刻蚀 扫描电镜 
O_2掺杂对SiCOH低k薄膜结构与电学性能的影响
《物理学报》2007年第2期1172-1176,共5页卫永霞 钱晓梅 俞笑竹 叶超 宁兆元 梁荣庆 
国家自然科学基金(批准号:10575074);苏州大学薄膜材料江苏省重点实验室资助的课题~~
以十甲基环五硅氧烷(D5)和氧气(O2)作为反应气体,采用电子回旋共振等离子体化学气相沉积(ECR-CVD)方法制备了k=2.62的SiCOH薄膜.研究了O2掺杂对薄膜结构与电学性能的影响.结果表明,采用O2掺杂可以在保持较低介电常数的前提下极大地降低...
关键词：SiCOH薄膜 O2掺杂 介电性能 键结构 
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