卫永霞

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供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室更多>>
发文主题：掺杂介电性能电学O更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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O_2掺杂对SiCOH低k薄膜结构与电学性能的影响
《物理学报》2007年第2期1172-1176,共5页卫永霞 钱晓梅 俞笑竹 叶超 宁兆元 梁荣庆 
国家自然科学基金(批准号:10575074);苏州大学薄膜材料江苏省重点实验室资助的课题~~
以十甲基环五硅氧烷(D5)和氧气(O2)作为反应气体,采用电子回旋共振等离子体化学气相沉积(ECR-CVD)方法制备了k=2.62的SiCOH薄膜.研究了O2掺杂对薄膜结构与电学性能的影响.结果表明,采用O2掺杂可以在保持较低介电常数的前提下极大地降低...
关键词：SiCOH薄膜 O2掺杂 介电性能 键结构 
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