朗谬尔探针

作品数：12被引量：25H指数：3
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不同激发频率下小型感应耦合等离子体特性研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2009年第5期504-508,共5页高璇 辛煜 黄晓江 宁兆元 
国家自然科学基金项目资助(No.10775103)
等离子体小型化后往往会产生一些独特的等离子体性质。本文采用朗谬尔探针和高分辨率发射光谱技术对不同激发频率下产生的小型感应耦合等离子体进行了测量,选用的三种频率为13.56MHz,27.12MHz和40.68MHz。朗谬尔探针的实验结果表明,随...
关键词：微感应耦合等离子体 朗谬尔探针 发射光谱 离子密度 电子温度 
朗谬尔探针诊断直流脉冲等离子体被引量：1
《中南民族大学学报（自然科学版）》2008年第2期77-81,共5页蓝加平 孙奉娄 
武汉市重点科技攻关计划项目(200761023420)
采用朗谬尔双探针对工作频率为1 kHz、占空比为15%的直流脉冲等离子体在气体分别为空气、氨气和氩气,脉冲电压为600 V,压强为109 Pa条件下进行了诊断,得到了电子密度、电子温度在一个脉冲周期内随时间变化的情况.在采用空气放电时测量...
关键词：脉冲等离子体 朗谬尔探针 诊断 
交叉型天线感应耦合等离子体源放电特性及均匀性被引量：2
《真空科学与技术学报》2008年第2期174-178,共5页卢春山 辛煜 孙刚 孙恺 
国家自然科学基金资助(No.10305008)
本文介绍了一种交叉型天线射频感应耦合等离子体源,射频天线穿过交叉排列的石英管内置于真空腔体中。本文运用朗谬尔探针方法诊断了放电等离子体的参量及其均匀性,运用发射光谱技术进行了Ar谱线[4s’(1/2)0-4p’(1/2)]的发光强度的表征...
关键词：感应耦合等离子体 天线 朗谬尔探针 发射光谱 
90nm硅栅过刻蚀工艺中功率对等离子体性质的影响被引量：2
《Journal of Semiconductors》2007年第10期1611-1614,共4页张庆钊 谢长青 刘明 李兵 朱效立 
国家自然科学基金(批准号:60236010;60376020);国家重点基础研究发展计划(批准号:G200036504)资助项目~~
通过实验对适用于90nm多晶硅栅刻蚀工艺中过刻蚀阶段等离子体的性质进行了研究分析.实验采用满足200mm硅晶片刻蚀的电感耦合多晶硅刻蚀设备,借助等离子体分析仪器(朗缪尔探针)进行实验数据测定,得到了等离子体性质与功率、气体流量等外...
关键词：等离子体 鞘层理论 干法刻蚀 朗谬尔探针 
静电探针法对等离子体参数的测定被引量：5
《航天器环境工程》2006年第5期302-305,共4页贾瑞金 童靖宇 刘业楠 
静电探针(又称朗谬尔探针)是最早被用于等离子体的诊断工具,它是在等离子体密度和温度比较低的情况下测定等离子体参数的基本方法。文章利用等离子体环境地面模拟设备,采用静电探针的方法,对等离子参数进行测定。并给出了模拟环境的测...
关键词：静电探针 探针法 等离子体密度 离子参数 模拟设备 模拟环境 稳定性测试 朗谬尔探针 诊断工具 微波功率 基本方法 地面 测量结果 测定 温度比 均匀性 证明 运行 气压 
多源感应耦合等离子体的产生及等离子体诊断被引量：3
《物理学报》2006年第7期3494-3500,共7页辛煜 狄小莲 虞一青 宁兆元 
国家自然科学基金(批准号:10305008)资助的课题.~~
基于单组多匝线圈的小腔体感应耦合等离子体,研究了线圈配置与耦合效率等之间的关联,并将实验结果应用到多组并联螺旋天线感应耦合等离子体放电体系中.采用了改进的朗谬尔探针方法对单源和多源感应耦合等离子体的电参量分别进行了表征....
关键词：多源感应耦合等离子体 朗谬尔探针 等离子体灰化 
电子回旋共振等离子体源的朗谬尔探针诊断被引量：5
《真空科学与技术学报》2004年第1期71-73,共3页吴振宇 汪家友 杨银堂 
电子回旋共振 (ECR)等离子体以其密度高、工作气压低、均匀性好、参数易于控制等优点在超大规模集成电路工艺中获得了广泛的应用。利用朗谬尔探针对ECR等离子体进行了初步的诊断研究 ,测量了等离子体的单探针伏安特性并计算出电子温度 ...
关键词：电子回旋共振等离子体源 ECR 朗谬尔探针 等离子体诊断 饱和电流 
HL-1M装置离子回旋波注入实验的边缘参数测量
《中国核科技报告》1998年第S3期27-28,共2页严龙文 杨式坤 钱俊 王恩耀 
为了提高等离子体温度和密度,在高参数下从事托卡马克等离子体物理研究,在HL-1M装置上进行低杂波加热和电子回旋波加热的基础上,我们最近开展了离子回旋波注入和中性束注入加热实验,以及弹丸注入加料和分子束注入(MBI)加料实验,特别是...
关键词：朗谬尔探针 边缘等离子体 离子回旋波 弹丸加料 
朗谬尔探针用于VAC等离子体诊断的初步研究被引量：5
《应用科学学报》1996年第4期475-480,共6页程仲元 邹积岩 杨磊 张汉明 
简要分析了朗谬尔（Ｌａｎｇｍｕｉｒ）探针用于真空电弧镀膜（ＶＡＣ）等离子体诊断的可行性及理论适用性问题．介绍了一种可用于ＶＡＣ等离子体在线监测的探针诊断系统，并利用此系统分析了不同工艺参数下等离子体参数的变化．
关键词：等离子体诊断 朗谬尔探针 真空电弧镀膜 
气体放电中静电探针表面的污染和清洗
《核聚变与等离子体物理》1994年第2期55-60,共6页杨宣宗 袁定朴 王龙 蒋地明 
本文讨论了在气体放电中静电探针表面的污染及其对等离子体电子密度、电子温度和空间电位等基本参数测量的影响，提出了一种能有效地清除探针表面污染的方法。
关键词：表面 污染 朗谬尔探针 放电 
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