谢长青

作品数：3被引量：6H指数：2
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供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心更多>>
发文主题：位相透明介质菲涅耳波带片衍射更多>>
发文领域：理学机械工程电子电信更多>>
发文期刊：《强激光与粒子束》《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中国科学院知识创新工程国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
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软X光谱学光子筛衍射特性的实验表征被引量：4
《强激光与粒子束》2011年第2期387-391,共5页魏来 曹磊峰 范伟 臧华萍 高宇林 朱效力 谢长青 谷渝秋 张保汉 王晓方 
国家自然科学基金项目(10727504);中国科学院创新项目
概述了谱学光子筛的设计原理,计算了其透射率,并对设计的软X光谱学光子筛的衍射模式在光学波段进行了模拟计算和实验表征。结果表明,这种新型色散元件具有良好的、与设计预期一致的单级衍射特性,3级及以上的高级衍射能被有效抑制。与传...
关键词：软X光 光子筛 衍射光栅 衍射特性 
光学波段量子点阵衍射光栅的衍射特性被引量：2
《强激光与粒子束》2008年第4期607-611,共5页王传珂 况龙钰 王哲斌 曹磊峰 刘慎业 丁永坤 王德强 朱效立 谢长青 
国家自然科学基金资助课题(10727504);国家高技术发展计划项目
概述了量子点阵衍射光栅的原理及制作方法,并设计标定实验,研究了不同角度及不同波长入射情况下量子点阵光栅的衍射特性。研究结果表明:量子点阵光栅不存在高级衍射,只保留了±1级和0级衍射,具有理想的单级衍射模式。光学波段量子点阵...
关键词：衍射光栅 量子点阵光栅 衍射特性 标定 
90nm硅栅过刻蚀工艺中功率对等离子体性质的影响被引量：2
《Journal of Semiconductors》2007年第10期1611-1614,共4页张庆钊 谢长青 刘明 李兵 朱效立 
国家自然科学基金(批准号:60236010;60376020);国家重点基础研究发展计划(批准号:G200036504)资助项目~~
通过实验对适用于90nm多晶硅栅刻蚀工艺中过刻蚀阶段等离子体的性质进行了研究分析.实验采用满足200mm硅晶片刻蚀的电感耦合多晶硅刻蚀设备,借助等离子体分析仪器(朗缪尔探针)进行实验数据测定,得到了等离子体性质与功率、气体流量等外...
关键词：等离子体 鞘层理论 干法刻蚀 朗谬尔探针 
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