虞一青

作品数：5被引量：11H指数：2
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供职机构：苏州大学更多>>
发文主题：感应耦合等离子体封装玻璃金属阴极金属阳极射流装置更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
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甚高频激发的容性耦合Ar+O_2等离子体电负特性研究被引量：2
《物理学报》2017年第18期148-156,共9页杨郁 唐成双 赵一帆 虞一青 辛煜 
国家自然科学基金(批准号:11675117)资助的课题~~
利用探针辅助的脉冲激光诱导负离子剥离诊断技术对掺入5%O_2的容性耦合Ar等离子体电负特性进行了诊断研究.首先详细解析了脉冲激光剥离后探针的电信号,分析了探针偏压在低于或高于空间电位下的探针收集信号特征;根据探针偏压与探针收集...
关键词：激光诱导光致剥离 朗缪尔探针 电负性等离子体 电负度 
电负性气体的掺入对容性耦合Ar等离子体的影响被引量：5
《物理学报》2013年第11期348-355,共8页洪布双 苑涛 邹帅 唐中华 徐东升 虞一青 王栩生 辛煜 
国家自然科学基金(批准号:11175127)资助的课题~~
本文利用朗缪尔静电探针对掺入了电负性气体O2,Cl2,SF6的由4068MHz激发的单射频容性耦合Ar等离子体进行了诊断测量.测量结果表明:随着电负性气体流量的增加,电子能量概率分布函数出现了高能峰,高能峰且有向高能侧漂移的现象;电负性气体...
关键词：电负性等离子体 电子密度 电子温度 电负度 
碳氟感应耦合等离子体的SiO_2介质刻蚀的研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2007年第2期146-150,共5页虞一青 辛煜 宁兆元 
国家自然科学基金(No.10305008)资助
使用感应耦合等离子体技术,通过改变源气体流量比R(R=[C4F8]/{[C4F8]+[Ar]})、射频源功率、自偏压等条件进行了SiO2介质刻蚀实验研究。碳氟等离子体的特征由朗谬探针和发射光谱技术来表征。结果表明,SiO2的刻蚀速率随放电源功率和射频...
关键词：感应耦合等离子体 发射光谱 介质刻蚀 扫描电镜 
多源感应耦合等离子体的产生及等离子体诊断被引量：3
《物理学报》2006年第7期3494-3500,共7页辛煜 狄小莲 虞一青 宁兆元 
国家自然科学基金(批准号:10305008)资助的课题.~~
基于单组多匝线圈的小腔体感应耦合等离子体,研究了线圈配置与耦合效率等之间的关联,并将实验结果应用到多组并联螺旋天线感应耦合等离子体放电体系中.采用了改进的朗谬尔探针方法对单源和多源感应耦合等离子体的电参量分别进行了表征....
关键词：多源感应耦合等离子体 朗谬尔探针 等离子体灰化 
电容耦合的抑制对感应耦合放电等离子体的影响
《真空科学与技术学报》2005年第6期439-443,共5页辛煜 宁兆元 狄小莲 虞一青 
国家自然科学基金的资助(No.10305008)
感应耦合等离子体(ICP)是微电子工业刻蚀高精度沟槽结构的首选高密度等离子体源。研究ICP的电特性与等离子体电学参量的变化显得非常重要。本文中,在平板型ICP源的感应线圈和介质窗口之间,使用了对称、均匀、呈辐射状的法拉第屏蔽板。...
关键词：感应耦合等离子体 等离子体射频电位 法拉第屏蔽 电容耦合 
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