张志辉

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发文主题：电子温度电子密度双频氮气感性耦合更多>>
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电感耦合放电对双频容性耦合Ar-N_2等离子体物理特性的影响
《真空科学与技术学报》2015年第5期565-569,共5页张志辉 宁兆元 
国家自然科学基金项目(11075114)
电感耦合等离子体增强的容性耦合等离子体是一种新的等离子体源,采用这种放电方式可以获得高密度均匀的等离子体。本文主要利用朗缪尔单探针对以下几种放电方式的等离子体性质进行诊断:1双频(60,13.56 MHz)容性耦合等离子体;2电感(13.56...
关键词：电感耦合等离子体 容性耦合等离子体 郎缪尔探针 离子密度 电子温度 
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