金刚石膜的厚度及背表面过渡层对热导率的影响  

作　　者：顾长志[1] 张纪法[2] 

机构地区：[1]吉林大学超硬材料国家重点实验室 [2]中国科技大学物理系

出　　处：《高压物理学报》1997年第1期61-65,共5页Chinese Journal of High Pressure Physics

摘　　要：采用微波等离子体化学气相沉积（ＭＷＰＣＶＤ）方法制备金刚石膜，研究了金刚石膜的厚度以及生长初期的ＳｉＣ过渡层对其热导率的影响，给出了膜厚和背表面ＳｉＣ过渡层减薄厚度与金刚石膜热导率的关系。

关 键 词：金刚石 热导率 膜厚 薄膜 

分 类 号：O484.4[理学—固体物理]