压阻式微加速度计的结构优化设计  

Design optimization of piezoresistance micro-accelerometer

作　　者：李丽华[1] 郭涛[1] 熊继军[1] 徐栋[1] 

机构地区：[1]中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原山西030051

出　　处：《微计算机信息》2007年第32期221-223,共3页Control & Automation

基　　金：国家自然科学基金(505350305040502550375050);霍英东基金(01052)

摘　　要：在过去对技术系统的设计优化通常是根据设计者自己的经验,通过改变一个系统参数来分析系统性能。但随着系统参数的日益增加,这种类型的优化变得越来越困难。鉴于此,本文介绍了利用ANSYS软件对压阻式微加速度计进行结构优化的设计的方法,通过对压阻式微加速度计原结构和优化后的结构进行分析比较,加速度计的结构灵敏度提高了一个数量级,输出灵敏度提高了4倍以上。本文也对微加速度传感器的工作原理和有限元优化的相关概念作了简单的介绍。In the past, design optimization of technical systems was usually based on the experience of the designer, who analyzes the system performance and modifies individual system parameters, This kind of optimization becomes more and more difficult with an increasing number of design parameters, Considering this, this paper introduces the method for parameter optimization of piezoresistance accelerometer combined with ANSYS, After comparing structure optimization with original structure, we found the accelerometer＇s structure sensitivity is ten times more than the original and output sensitivity is four times more than the original, Anti this paper introduces simply the principle of micro-accelerometer on and some notion of finite element optimization.

关 键 词：微加速度计 压阻式 有限元优化 结构优化 

分 类 号：TN302[电子电信—物理电子学]