真空校准系统及真空计的校准  

Vacuum Calibration System and the Calibration of Vacuum Gauge

作　　者：刘兴胜[1] 陈旭[1] 

机构地区：[1]中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳621900

出　　处：《计量与测试技术》2007年第10期1-2,共2页Metrology & Measurement Technique

摘　　要：综述了真空校准系统,对其设计方法提出了一些要求。并详细分析了常用真空计在校准中的注意事项。

关 键 词：真空校准系统 真空计 

分 类 号：TB77[一般工业技术—真空技术]