超精瞄准定位系统的研究  

Research on the System of Ultra precision Aiming and Locating

作　　者：浦昭邦[1] 赵辉[1] 蔡红红 王建民[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学

出　　处：《计量学报》1997年第2期81-84,共4页Acta Metrologica Sinica

摘　　要：本文对高精度孔径测量中超精瞄准定位系统的微位移技术及其控制方法进行了研究，在采用闭环控制和双频激光干涉仪检测的情况下可达００３μｍ的瞄准定位精度。Microdisplacement technique and its control methods applied in the system of high precision inside diameter measurement are researched.In the case of using closed loop control technique and double frequency laser interferometer,the accuracy of aiming and locating is 0.03μm.

关 键 词：瞄准定位 微位移技术 孔径测量 超精加工 

分 类 号：TH161.5[机械工程—机械制造及自动化] TG52[金属学及工艺—金属切削加工及机床]