基于PSD的薄膜场发射极板位置测量及误差分析  

A Position Measurement System in Film Field Emission Based on PSD

作　　者：高驰名[1] 邓耀初[1] 丁蛟腾[1] 

机构地区：[1]西安电子科技大学机电工程学院,陕西西安710071

出　　处：《仪器仪表与分析监测》2007年第4期17-19,共3页Instrumentation·Analysis·Monitoring

摘　　要：文章介绍了一种基于PSD体系结构的微小位移测量系统在场薄膜发射中的应用,详细叙述了该检测系统的测量的原理,根据信号传递过程确定了该方法的误差因素,分析了误差产生的原因,估算了该方法的测量精度,结果表明,采用该方法测量是可行的。

关 键 词：PSD 薄膜发射 位置测量 误差 

分 类 号：TH7[机械工程—仪器科学与技术]