邓耀初

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基于PSD的薄膜场发射极板位置测量及误差分析
《仪器仪表与分析监测》2007年第4期17-19,共3页高驰名 邓耀初 丁蛟腾 
文章介绍了一种基于PSD体系结构的微小位移测量系统在场薄膜发射中的应用,详细叙述了该检测系统的测量的原理,根据信号传递过程确定了该方法的误差因素,分析了误差产生的原因,估算了该方法的测量精度,结果表明,采用该方法测量是可行的。
关键词：PSD 薄膜发射 位置测量 误差 
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