单基多电极石英晶体谐振器的力-频特性  

Force-frequency Characteristic of Mono-base Multi-electrode Quartz Crystal Resonator

作　　者：田文杰[1] 程红亚[2] 宁永怀[1] 崔媛媛[1] 鄂然[1] 

机构地区：[1]北京信息工程学院传感器技术研究中心,北京100101 [2]中国电子技术标准化研究所,北京100007

出　　处：《压电与声光》2007年第6期641-643,共3页Piezoelectrics & Acoustooptics

基　　金：北京市科技发展资助项目(KM200610772009);北京市高校学术创新团队资助项目(51050031);北京市传感器重点实验室资助项目(KM200710772022)

摘　　要：利用有限元法分析了同一圆形晶体基片上不同区域的应力分布,通过蒸镀电极的方法证实了理论分析结果的正确性。在此基础上,根据晶体振动的限波理论,设计制作了单基多电极石英晶体谐振器,由此构成的差频式力敏感元件的力-频灵敏度系数可达251.9 Hz/N,输出特性非线性度小于0.5%满刻度(FS)。This paper analyzes the stress distribution on the different region of the same circular quartz by using the finite element method, the result approves the correctness of the theoretic analysis by coating electrodes. On the basis of that and the theory of crystal vibration, we design mono base multi electrode quartz crystal resonators. The force-frequency coefficient of those resonators can be 251. 9 Hz/N and the output non linear degree is less than 0.5%FS.

关 键 词：有限元法 多电极石英谐振器 力-频特性 非线性度 

分 类 号：TP21[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]