聚焦离子束技术及其在微纳加工技术中的应用  

Application of FIB in micro/nano processing technology

作　　者：马向国[1] 刘同娟[1] 顾文琪[2] 

机构地区：[1]北京物资学院,北京101149 [2]中国科学院电工研究所,北京100080

出　　处：《真空》2007年第6期74-78,共5页Vacuum

摘　　要：聚焦离子束(FIB)技术是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术。它突破了只能对表层成像和分析的局限,可以对样品进行三维的、表面下的观察和分析,也可以对样品材料进行切割研磨和沉积特定材料,用它可以获得以前无法得到的样品信息。从而为研究人员和制造人员提供了一种对多种样品在纳米尺度进行修改、制作和分析的有效工具。FIB （Focused Ion Beam） is an advanced micro/nano technology for morphological observation, sample-making for accurate positioning, compositional analysis, film deposition and maskless etching.It breaks through the limitation that only the superfacial imaging and analyzing are possible, and it can observe and analyze samples with 3D and undersurface images available. It can also cut and grind samples and deposit special materials. Thus, the sample information which can＇t be acquired before is available as an efficient tool to modify, make and analyze various samples on nano-scale.

关 键 词：聚焦离子束 液态金属离子源 微纳加工技术 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]