电子束曝光机复合调整式30kV电源  

A COMBINED REGULATION TYPE HIGH-VOLTAGE POWER SUPPLY FOR ELECTRON BEAM EXPOSURE MACHINE

作　　者：陈振生[1] 雷海亮[1] 杨立才[1] 

机构地区：[1]山东工业大学自动化系,济南250061

出　　处：《微细加工技术》1997年第2期14-19,共6页Microfabrication Technology

摘　　要：介绍了复合调整式高压电源的总体设计方案，提出实现高压电源高稳定度的关键技术措施。The general design project of a combined regulation type high voltage power supply is described. The key technical measures for obtaining high stability of the power supply are introduced.

关 键 词：电子束曝光机 高压电源 复合调整 高稳定度 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]