Fz115型区熔炉的设计及特点  

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作  者:陈应斗[1] 

机构地区:[1]北京有色冶金设计研究总院,100038

出  处:《有色设备》1997年第4期11-14,共4页Nonferrous Metallurgical Equipment

摘  要:Fz115型区熔炉是八十年代末设计用于生产区熔单晶硅,有八十年代初国际先进水平的炉子。本文着重介绍该炉的技术性能,主要机构的设计,动作原理及其结构特点等。

关 键 词:单晶硅 区熔炉 晶体夹持器 

分 类 号:TN304.12[电子电信—物理电子学] TF806.9[冶金工程—有色金属冶金]

 

参考文献:

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