基于DMD高分辨率激光直写系统设计与实现  

Laser direct writing system of fabricating high resolution image with DMD

作　　者：陆亚聪[1] 陈林森[1] 魏国军[1] 邵洁[1] 周小红[1] 

机构地区：[1]苏州大学信息光学工程研究所,江苏苏州215006

出　　处：《激光杂志》2007年第6期46-47,共2页Laser Journal

摘　　要：提出了利用数字微反射镜(DMD)实现高分辨率高速度光刻图像的方法,通过对激光直写系统Holomaker-Ⅲ-B光路的改装,将DMD代替原来的方孔作为光调制器,把DMD上的图像成像在光刻胶板上,得到一个缩小倍率的高质量的任意光斑图形。此系统分辨率能够达到6000DPI,能够制作出高质量的光变图像,例如2D图像,2D/3D图像,3D图像以及各种精密的微刻图像和文字,并给出了实验结果。A metod of using DMD（igital micro device） to carry out the high resolution image with high speed to engrave is put forward. Through refitting the laser direct writing（ LDW） system Holomaker- Ⅲ- B, using DMD to replace the original square bore as a spatial light modulator（ SLM）, the system can expose a reduction pattern with any figure directly on photoresist plate. The resolution can attain 6000dpi in this system and it can create a series of high quality images, such as 2D,2D/3D,3D images and various nicety of tiny figures or letters. The experimental resuhs have been given in this paper.

关 键 词：激光直写 数字微反射镜 光变图像 

分 类 号：O436.1[机械工程—光学工程]