MEMS在医疗领域中的应用  

出　　处：《传感器世界》1997年第7期15-18,26,共5页Sensor World

摘　　要：微电子机械系统MEMS从80年代开始应用于医疗领域,其中产生了各种硅压力传感器和硅加速度计,以及一些自定义的特殊微结构.这些产品具有比其它类型的产品更多的优势,如体积小、性能稳定,且价格便宜,同时用来进行硅电子元件生产的大多数晶片加工仪器都可以用来生产这种硅传感器.由于医疗所需的传感器要特别可靠,而硅有着近乎完美的弹性且不会产生长时间蠕变,这使其特别适于医疗应用.

关 键 词：MEMS 传感器 医疗器械 硅压力传感器 

分 类 号：TH770.32[机械工程—仪器科学与技术] TP212[机械工程—精密仪器及机械]