基于MEMS光栅平动式光调制器信号处理分析  

Signal Processing Analysis of Grating Moving Light Modulator Based on MEMS

作　　者：张洁[1] 黄尚廉[1] 张智海[1] 孙吉勇[1] 史玲娜[1] 

机构地区：[1]重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室,重庆400030

出　　处：《光子学报》2007年第12期2314-2318,共5页Acta Photonica Sinica

基　　金：国家自然科学基金(60578023);重庆市院士基金(8883)资助

摘　　要：依据傅里叶光学理论,采用在频谱面上放置两种空间滤波器的方法进行信号处理,分析了光栅平动式光调制器在成像面上的强度分布情况,实现了对光能量的调制.分析表明:当滤出±1级谱时,像面上可以得到完全均匀的暗场;但是由于边框和悬臂梁的影响,得不到完全均匀的亮场;当滤出零频谱时,由于边框和悬臂梁的影响,得不到完全均匀的暗场和亮场.设计时,为了要在像面上得到更高的亮度均匀性,需要满足可动光栅栅条宽度为光栅周期的一半,同时应尽量减少悬臂梁和边框的宽度.Fourier optics is adopted to analyze the distribution in the imaging plane, using two different filters in frequency spectrum plane. The analysis indicates that collecting 1^st order spectrum can get even dark field, but uneven bright field according to the influence of frame and crab-cantilevers, and collecting 0^th order spectrum can not only get uneven dark field, but also uneven bright field. In order to get higher even brightness field in imaging field, grating period should be double grating width and reduce the frame and crab-cantilevers size.

关 键 词：衍射 光栅 傅里叶光学 光栅平动式光调制器 信号处理 

分 类 号：TN761[电子电信—电路与系统]