光栅平动式光调制器

作品数:14被引量:37H指数:3
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光栅平动式光调制器的残余应力自测量方法和试验
《机械工程学报》2010年第8期12-17,共6页张智海 黄尚廉 张洁 金珠 王宁 
重庆市院士基金(CSTC2008BC3002);国家自然科学基金(60708017)资助项目
对微机电系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)器件残余应力的测量方法大都需要有标准的测试结构。这些测试结构体积较大,一方面占用有限的光刻版面积,另一方面加电和测试时都会增加复杂性和难度。针对一种基于微光机电系统(Mic...
关键词:光栅平动式光调制器 微光机电系统 残余应力自测量方法 吸合电压 
微光机电系统光栅平动式光调制器的激光投影研究被引量:3
《中国激光》2010年第3期663-667,共5页张智海 
重庆市院士基金(CSTC2008BC3002)资助课题
提出了一种新颖的面向激光投影的微光机电系统(MOEMS)光栅平动式光调制器(GMLM),利用衍射原理对光进行动态调制,具有较简单的工艺和投影光学系统。介绍了GMLM的光调制原理和以GMLM阵列为核心器件的投影光学系统的构成。建立了GMLM的等...
关键词:微光机电系统 光栅平动式光调制器 标量衍射 激光投影显示 
MOEMS光栅平动式光调制器的吸合电压分析与实验被引量:1
《仪器仪表学报》2009年第7期1368-1372,共5页张智海 黄尚廉 张洁 金珠 王宁 
国家自然科学基金(60708017);重庆市院士基金(CSTC2008BC3002)资助项目
通过研究提出了一种新颖的利用微光机电系统技术(MOEMS)制造的光栅平动式光调制器GMLM,它可以利用衍射原理对光进行动态调制,其设计适宜形成二维光调制器阵列。针对GMLM,分析并给出了其准静态下的吸合电压计算公式。考虑到MEMS器件的尺...
关键词:光栅平动式光调制器 微光机电系统 吸合电压 边缘场效应 
光栅平动式光调制器机械特性分析与仿真被引量:5
《仪器仪表学报》2008年第6期1129-1133,共5页韩磊 黄尚廉 张洁 贺学峰 伍艺 
国家自然科学基金(60708017);重庆市院士基金(8883);重庆市自然科学基金(CSTC;2007BB2110)资助项目
光栅平动式光调制器是基于MOEMS技术的新型光调制器,利用静电力驱动可动光栅对入射光进行调制,因其具有高速开关特性与面阵化等特点使其在显示与打印方面有广阔的应用前景。但是其结构相对复杂,本文通过建立光栅平动式光调制器的机电模...
关键词:微机电系统 光调制器 挠度方程 机械特性 有限元仿真 
基于MEMS光栅平动式光调制器信号处理分析被引量:2
《光子学报》2007年第12期2314-2318,共5页张洁 黄尚廉 张智海 孙吉勇 史玲娜 
国家自然科学基金(60578023);重庆市院士基金(8883)资助
依据傅里叶光学理论,采用在频谱面上放置两种空间滤波器的方法进行信号处理,分析了光栅平动式光调制器在成像面上的强度分布情况,实现了对光能量的调制.分析表明:当滤出±1级谱时,像面上可以得到完全均匀的暗场;但是由于边框和悬臂梁的...
关键词:衍射 光栅 傅里叶光学 光栅平动式光调制器 信号处理 
光电子技术与器件 光调制与器件
《中国光学与应用光学》2007年第4期68-68,共1页
关键词:光调制 器件 光电子技术 光栅平动式光调制器 液晶光阀 电光特性 
基本电子电路
《中国无线电电子学文摘》2007年第4期96-101,共6页
TN7022007041098一种模拟电路自动综合中的数据阵列描述方法/高雪莲,石寅(中国科学院半导体研究所)//电子与信息学报.―2006,28(7).―1340~1344.该文提出模拟电路的数据阵列描述方法及其与描述方法协同工作的电路生成规则。其中,数据...
关键词:电子电路 PSOI 电子技术 光栅平动式光调制器 可调光衰减器 电流模式滤波器 低噪声放大器 线路放大器 多变量逻辑函数 LDMOS 光栅周期 带阻滤波器 卡诺图法 波长转换器 
基于微机电系统光栅平动式光调制器实验和优化设计被引量:4
《光学学报》2007年第9期1565-1569,共5页张洁 黄尚廉 张智海 孙吉勇 史玲娜 朱永 
重庆市院士基金(8883);国家自然科学基金(60578023)资助课题
基于微机电系统(MEMS)的光栅平动式光调制器(光栅平动式光调制器)调制性能的实验研究关系到其进一步应用。设计了光栅平动式光调制器的相干光学信息处理系统实验方案,He-Ne激光器出射的光束经扩束器和准直透射后成为平行光入射光栅平动...
关键词:信息光学 光栅 相干光学信息处理 光调制器 
蟹型悬臂梁对光栅平动式光调制器性能的影响被引量:2
《光学精密工程》2007年第3期315-320,共6页张洁 黄尚廉 张智海 孙吉勇 付红桥 
重庆市院士基金(No.8883);国家自然科学基金项目(No.60578023)
基于MOEMS(Micro-opto-electro-mechanical Systems)的光栅平动式光调制器依靠结构中的蟹型悬臂梁在静电力作用下的上下运动来改变可动光栅和下反射面的距离,从而实现对光能量的调制。本文依据傅里叶光学对光栅平动式光调制器(Grating M...
关键词:衍射光栅 傅里叶光学 MEMS 光栅平动式光调制器 
光调制与器件
《中国光学与应用光学》2007年第1期67-,共1页
关键词:光调制 TN 于晓光 器件 光栅光调制器 光栅平动式光调制器 
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