正弦相位调制菲索干涉仪  

作　　者：Sasak.,O 李熙 

出　　处：《国外计量》1990年第5期 8-10,共3页

摘　　要：<正> 一、前言菲索干涉仪对于光学系统中发生的摆振问题是不敏感的,而且它可方便地用于大直径物体表面轮廓的测量。这两个优点对于高达1nm量级的高准确度表面轮廓的测量特别重要。如果我们用一台泰曼-格林干涉仪测量一大直径物体,如直径80mm 平板玻璃的表面轮廓。

关 键 词：菲索干涉仪 正弦相位调制 干涉仪 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程;机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械]