LICVD制备纳米固体块材装置的研制  

作　　者：王颖[1] 朱震刚[1] 蔡树芝[1] 王静[1] 

机构地区：[1]中国科学院固体物理研究所

出　　处：《仪器仪表学报》1997年第2期221-224,共4页Chinese Journal of Scientific Instrument

摘　　要：ＬＩＣＶＤ制备纳米固体块材装置的研制＊王颖朱震刚蔡树芝王静（中国科学院固体物理研究所合肥２３００３１）０引言激光诱导化学气相沉积（Ｌａｓｅｒ－ＩｎｄｕｃｅｄＣｈｅｍｉｃａｌＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ．简称为：ＬＩＣＶＤ）方法制备超细粉末技术是八十...

关 键 词：激光 化学气相沉积 纳米材料 超细粉末 

分 类 号：O48[理学—固体物理]