微电子工业中的清洗方法  

作　　者：杨培根[1] 

机构地区：[1]电子工业部第十三研究所

出　　处：《半导体技术》1997年第4期46-49,共4页Semiconductor Technology

摘　　要：首先简介半导体工业中的常规清洗方法，而后，有比较地介绍近年推广使用的电子清洗剂。

关 键 词：腐蚀清洗 电子清洗剂 半导体集成电路 

分 类 号：TN453.07[电子电信—微电子学与固体电子学]