杨培根

作品数：1被引量：11H指数：1
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微电子工业中的清洗方法被引量：11
《半导体技术》1997年第4期46-49,共4页杨培根 
首先简介半导体工业中的常规清洗方法，而后，有比较地介绍近年推广使用的电子清洗剂。
关键词：腐蚀清洗 电子清洗剂 半导体集成电路 
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