类金刚石薄膜的耐热性研究进展  

Recent Development of Research on Thermal Stability of DLC Films

作　　者：谢红梅[1] 聂朝胤[1] 张碧云[1] 曲燕青[1] 

机构地区：[1]西南大学材料科学与工程学院,重庆400715

出　　处：《材料导报》2007年第F11期326-327,344,共3页Materials Reports

基　　金：重庆市自然科学基金(2006BB4050);西南大学科技基金(SWNUF2005001)

摘　　要：类金刚石薄膜具有良好的物理化学性能、光电性能、机械性能及摩擦学性能。但是在高于400℃的温度条件下,DLC膜易向石墨结构转变,从而阻碍了其在高温条件下的应用。因此关于类金刚石薄膜耐热性的研究是目前的一个热门研究课题。在综合分析近年来该领域研究的基础上总结了影响DLC膜耐热性的3种因素:膜结构、掺杂、制备方法,并分析了各种因素的影响机理。DLC（Diamond-like carbon） films have good chemical, optical, electrical, mechanical and thribological properties. But they are easy to transform to the structure of graphite above 400℃. This shortcoming holds DLC films from application at high temperature. Therefore, the current research on the thermal stability of DLC films is a hotspot. The influences of the structure, doping and the preparation methods of the thermal ressance of DLC films are reported in this oaper. The influencing mcchanisms of these factors are also analyzed.

关 键 词：类金刚石膜 石墨 耐热性 

分 类 号：TQ424.25[化学工程] TN304.18[电子电信—物理电子学]