温度时间控制器  

出　　处：《集成电路应用》2007年第11期56-56,共1页Application of IC

摘　　要：Model TTC-H5是一款具有五个温度范围的时间控制器，可用于所有的刻蚀、去胶和湿法显影工艺。每个单独的范围包括工艺温度设置点、PID参数、EEPROM存储器，可以在没有电源的情况下将数据保持10年，以及高、低温警报设置点。

关 键 词：时间控制器 温度范围 EEPROM存储器 温度设置 PID参数 湿法显影 数据保持 工艺 

分 类 号：TP274[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TM571.61[自动化与计算机技术—控制科学与工程]