基于多孔硅及MEMS技术的微型质子交换膜燃料电池  

Micro Proton Exchange Membrane Fuel Cells Combining Porous Silicon and MEMS Technologies

作　　者：郑丹[1] 田娟[2] 张熙贵[3] 夏保佳[3] 

机构地区：[1]上海应用技术学院,上海200233 [2]哈尔滨工程大学,黑龙江哈尔滨150001 [3]中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海200050

出　　处：《化学世界》2008年第2期113-116,120,共5页Chemical World

基　　金：国家863资助项目(2003AA404120);上海市重点学科建设项目(P1501)资助

摘　　要：分析了研究和发展微型质子交换膜燃料电池(μPEMFC)的重要意义和应用前景,介绍了基于多孔硅及MEMS技术的μPEMFC最新研究动态,讨论了μPEMFC的结构设计、加工过程及性能,提出了μPEMFC仍存在的问题及其技术发展对策。The technical and marketing prospects of micro proton exchange membrane fuel cells（μPEMFC） are introduced and discussed.The paper emphasizes on recent study and development of μPEMFC based on combination of porous silicon and MEMS fabrication.The micro-structure design,fabrication process and fuel-cell performance are introduced in detail.At last,some technical schemes for further improving μPEMFC are presented.

关 键 词：多孔硅 MEMS技术 微型质子交换膜燃料电池 

分 类 号：TQ127.2[化学工程—无机化工]