吉时利联合Stratosphere Solutions研发65nm以下先进工艺特征分析技术  

出　　处：《电子与电脑》2008年第3期102-103,共2页Compotech

摘　　要：新兴测量需求解决方案领导者美国吉时利（Keithley）仪器公司。日前宣布将与Stratosphere Solutions公司合作。Stratosphere Solutions致力于面向集成电路制造提供能够提高工艺参数成品率的新型解决方案。吉时利与Stratosphere Solutions合作后将采用阵列TEG（测试组件组）技术展开先进工艺研发和监测工作。

关 键 词：工艺特征 吉时利 技术 研发 集成电路制造 参数成品率 仪器公司 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]