KLA-Tencor全新掩膜检测系统问世TeraFab家族三款新品齐亮相  

出　　处：《电子工业专用设备》2008年第2期57-57,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：KLA-Tencor公司日前推出全新的TeraFab系列掩模检测系统，为评定掩膜质量检测掩膜污染提供了灵活的解决方案。TeraFab系统针对不同检测需求提供了三种不同配置产品，包括TeraFabSLQ-2X、TeraFab Q-3X及TeraFab SLQ-1X。

关 键 词：KLA-Tencor公司 检测系统 掩膜 家族 质量检测 ab系统 膜污染 掩模 

分 类 号：TN407[电子电信—微电子学与固体电子学] TP274[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]