超大规模集成电路的生产环境和送风方式  

作　　者：张利群[1] 

机构地区：[1]中国电子工程设计院

出　　处：《洁净与空调技术》1997年第2期13-21,共9页Contamination Control & Air-Conditioning Technology

摘　　要：一、微电子工业的重要性及国内外发展 情况 当前世界微电子工业已经成为衡量一个国家的科学技术水平和经济发展实力的重要标志,也是一个国家经济发展的重要支柱。不管你愿意与否,承认与否,微电子工业是领头的,它代表着一个国家的科学技术水平和经济实力,并且影响着国民经济的各个部门。由上可以看出微电子工业对于国家经济发展是多么重要。因此。

关 键 词：洁净室 送风方式 微电子工业 集成电路 生产环境 

分 类 号：TU834.844[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程] TU270.3