张利群

作品数：4被引量：27H指数：2
导出分析报告
供职机构：中国电子工程设计院更多>>
发文主题：洁净室FFU风机过滤器超大规模集成电路更多>>
发文领域：建筑科学电子电信天文地球更多>>
发文期刊：《洁净与空调技术》更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-4
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
对高级别洁净厂房空调设计的探讨被引量：4
《洁净与空调技术》2004年第2期21-26,共6页张利群 
微电子、光电子产业是国民经济和科学技术的基础,发展迅速,更新换代快,对环境要求严格,初投资高、运行费大,要求安全、可靠、灵活,对这样的洁净厂房,本文提出一些行之有效的方法,供设计参考。
关键词：洁净厂房 空调设计 微电子 光电子 FFU 干盘管 升级 
FFU的应用被引量：22
《洁净与空调技术》2003年第3期46-49,共4页张利群 
本文通过对我国市场上销售的FFU进行性能测试和工程设计经验,总结了FFU的应用与选择上的注意事项,供读者参考。
关键词：风机 过滤器 洁净室 余压 噪声 
微环境/SMIF——IC制造的战略
《洁净与空调技术》2000年第1期31-33,共3页张利群 
1 前言 为实现当前以及下世纪半导体制造新的收益率目标,就必须进一步提高半导体制造的环境和自动化水平。本文章就是针对当前和下世纪新的高价值、大容量IC生产对微环境/SMIF的战略进行论述。
关键词：微环境 半导体 IC 制造 洁净室 
超大规模集成电路的生产环境和送风方式被引量：1
《洁净与空调技术》1997年第2期13-21,共9页张利群 
一、微电子工业的重要性及国内外发展 情况 当前世界微电子工业已经成为衡量一个国家的科学技术水平和经济发展实力的重要标志,也是一个国家经济发展的重要支柱。不管你愿意与否,承认与否,微电子工业是领头的,它代表着一个国家的科学技...
关键词：洁净室 送风方式 微电子工业 集成电路 生产环境 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部