微环境/SMIF——IC制造的战略  

作　　者：张利群[1] 

机构地区：[1]中国电子工程设计院

出　　处：《洁净与空调技术》2000年第1期31-33,共3页Contamination Control & Air-Conditioning Technology

摘　　要：1 前言 为实现当前以及下世纪半导体制造新的收益率目标,就必须进一步提高半导体制造的环境和自动化水平。本文章就是针对当前和下世纪新的高价值、大容量IC生产对微环境/SMIF的战略进行论述。

关 键 词：微环境 半导体 IC 制造 洁净室 

分 类 号：TU831.8[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]