用于强流离子注入的气体—金属弧离子注入机  

作　　者：黄拿灿[1] 黎炳雄[1] 胡社军[1] 黄小平 谢光荣[1] 

机构地区：[1]广东工业大学,广州510643

出　　处：《国外金属热处理》1997年第5期14-16,共3页Heat Treatment of Metals Abroad

摘　　要：本文介绍了新型的TITAN离子注入系统的结构、特点及工作原理。TITAN源设计思想新颖,是DENNING源与MEVVA源的有机结合,它能给出气体离子,也能给出金属和气体的混合离子,在金属材料改性方面具有潜在的应用前景。笔者对该系统的技术特性及优缺点进行了评述。

关 键 词：金属材料 改性 离子注入 离子注入机 

分 类 号：TG174.442[金属学及工艺—金属表面处理]