罗门哈斯公司宣布与IBM公司达成开发注入解决方案的协议  

出　　处：《电子质量》2008年第3期74-75,共2页Electronics Quality

摘　　要：罗门哈斯电子材料公司（Rohm and Haas Electronic Materials）是为半导体行业提供高级光刻材料的领先企业。该公司与TBM公司签署了联合开发协议，共同开发电路图案成形（parterning）材料和工艺，为32纳米及其以下节点的注入（implant）提供支持。

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分 类 号：F416.7[经济管理—产业经济] F471.266