基于LTCC工艺的数字三轴加速度传感器的研制  

Deleloprment of digital tri-axial acceleration sensor based on LTCC

作　　者：刘俊[1] 郭虎岗[1] 马喜宏[1] 谭秋林[1] 

机构地区：[1]中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西太原030051

出　　处：《传感器与微系统》2008年第3期80-82,共3页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：国家"973"计划资助项目(513260301)

摘　　要：将微机械加工工艺与混合集成技术相结合,设计并制作了具有RS422标准接口的数字三轴加速度传感器。采用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺将敏感元件、信号调理电路、模数转换电路和接口电路集成于一体,集成后的体积为45mm×45mm×15mm,实现了传感器的数字化、小型化和模块化,并大大提高了系统的测量精度和可靠性。Combining the microfabrication with hybrid integrated technology, a digital tri-axial acceleration sensor with RS422 data interface is developed. Based on the low temperature co-fired ceramic （ LTCC ） technology, the silicon accelerometer,signal processing circuit, A/D convertor and RS422 interface cell are integrated in it. The size of the sensor is 45 mm×45 mm × 15 mm. Digitalization, miniaturization and modularization are realized. Furthermore, the measuring accuracy and reliability of the system are greatly improved.

关 键 词：数字传感器 加速度传感器 低温共烧陶瓷 

分 类 号：TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN45[自动化与计算机技术—控制科学与工程]