CIF格式转换为PG3600格式中任意多边形切割成矩形的算法研究(英文)  

Partitioning Algorithm for the Pattern Conversion of CIF into PG3600

作　　者：李金儒[1] 陈宝钦[1] 刘明[1] 赵珉[1] 

机构地区：[1]中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室,北京100029

出　　处：《电子器件》2008年第2期385-388,共4页Chinese Journal of Electron Devices

基　　金：国家自然科学基金资助(60236010,90207004,60290081,90401002,60276019);自然科研基金项目资助(G2000036504,2002CB31190,2002AA325040)

摘　　要：为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式转换软件,文章提出了微光刻图形CIF数据格式转换为PG3600数据格式的新的图形切割算法——沿边切割法,重点讨论任意多边形切割成矩形的具体算法,并与其它几种常见的切割算法进行比较,说明该算法对于不规则图形的切割具有明显的优越性,最后给出所编软件运行的实验结果。This paper presents a novel algorithm for dividing the microlithography patterns of CIF format into rectangles of PG3600 format with emphasis on the division of arbitrary polygon into rectangles. The comparison result of this algorithm with other pattern division algorithms shows its great superiority for irregular polygons division over the other algorithms or techniques.

关 键 词：数据格式转换 任意多边形 切割法 CIF 算法 WINDOWS操作系统 矩形 软件运行 

分 类 号：TP311.13[自动化与计算机技术—计算机软件与理论] TP391.41[自动化与计算机技术—计算机科学与技术]