小尺寸物体三维面形高精度测量  

EXACT 3-D SHAPE MEAUREMENT OF SMALL-SIZED OBJECTS

作　　者：殷功杰[1] 朱传贵[1] 刘波[1] 薛鸣球[1] 高勃 

机构地区：[1]中国科学院西安光学精密机械研究所,西安710068 [2]中国人民解放军第四军医大学口腔医院,西安710032

出　　处：《光子学报》1997年第9期841-845,共5页Acta Photonica Sinica

摘　　要：采用变形光栅条纹囹样直接分析的方法对小尺寸物体面形实现高精度测量．研制了一台小型的三维表面轮廓测试仪，测量范围（30×30）mm2，精度20μm，初步用于人类牙齿表面三维测量．最后提出了存在的问题和改进方向．A compact instrument for the measuring of 3－D shapes is described and its workingmechanics is presented in detail. The instrument is used successfuly for measuring the shapes ofhuman teeth and other small－sized objects.

关 键 词：三维测量 光栅投影 轮廓仪 面形测量 

分 类 号：TH741[机械工程—光学工程]