化学法制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的研究进展  

Development and progress of transparent and conducting ZAO thin films

作　　者：王银玲[1] 徐雪青[2] 何新华[1] 徐刚[2] 

机构地区：[1]华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系,广州510640 [2]中科院广州能源研究所中国科学院可再生能源与天然气水合物重点实验室,广州510640

出　　处：《化工新型材料》2008年第3期9-11,共3页New Chemical Materials

基　　金：2006年粤港关键领域重点突破项目(200649851105)

摘　　要：综述了掺铝氧化锌(ZAO)透明导薄膜的化学法制备技术、及应用前景,重点介绍了溶胶-凝胶法制备ZAO薄膜的热处理条件、溶胶浓度、陈化时间、加水量以及稳定剂种类和用量等方面对薄膜结构和性能的影响。The chemical preparation technology and application prospect were overviewed. The heat treatment temperature ZAO thin films prepared by sol-gel method, the concentration of the sol, the aging time, the water influence and kinds of stabilizer were discussed

关 键 词：ZAO薄膜 电学光学性能 溶胶-凝胶 应用 

分 类 号：TB383.2[一般工业技术—材料科学与工程]