ZAO薄膜

作品数：89被引量：312H指数：10
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磁控溅射法制备ZAO薄膜的性能分析
《电大理工》2022年第1期26-30,共5页张宇 
ZAO薄膜具有电导率高、光学透射率高的优点,且易掺杂、制备成本低廉,是ZnO基透明导电薄膜的重要研究方向。采用磁控溅射法制备ZAO薄膜,利用X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜、UV-8000型紫外-可见分光光度计和四探针测试仪等设备研究...
关键词：ZAO薄膜 磁控溅射 衬底温度 电阻 透光率 
ZAO薄膜的制备方法及研究趋势被引量：1
《电大理工》2021年第4期6-9,15,共5页张宇 
ZAO薄膜具有较高的可见光区透射率(T≥85%)、优良的导电性、微波强衰减性(衰减率≥80%),应用于伪装隐身技术、平板显示、太阳能电池、反射热镜、气体敏感器件、特殊功能窗口涂层等领域。制备ZAO薄膜的原料无毒无污染,储量丰富,成本低廉...
关键词：ZAO薄膜 透明导电薄膜 制备方法 研究趋势 
射频反应磁控溅射生长ZAO薄膜的光电性质被引量：1
《实验室研究与探索》2019年第11期46-50,共5页许飞 朱江转 陆慧 罗锻斌 谢海芬 
2018年度本科实验实践教学改革与建设立项(BK0121004)
采用RF反应磁控溅射技术在不同制备条件下制备了Al掺杂ZnO薄膜(ZAO),研究了不同条件下ZAO薄膜的光电性质.结果表明,薄膜电阻主要由晶界电阻决定,且导电性随Ar∶O2中O2含量增加而减小.薄膜具有强烈的紫外吸收特性,带隙大多超过3.3 eV,可...
关键词：ZAO薄膜 磁控溅射 基底温度 光电性质 
不同过渡层对PMMA基底沉积ZAO薄膜特性的影响被引量：1
《功能材料》2018年第1期1204-1208,共5页郭婷婷 孔林涛 郭慧梅 武永鑫 
天津科技大学校基金资助项目(20323)
采用磁控溅射技术,分别使用SiO_2、SiON、Al2O_3、AlON作为过渡层,在有机玻璃(PMMA)基底上制备了ZAO薄膜。利用紫外-可见光谱仪、X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和划痕仪对不同过渡层上制备的ZAO膜层的光电特性、薄膜结构、表面...
关键词：ZAO薄膜 过渡层 电阻率 透过率 附着力 
溅射功率对不锈钢衬底ZnO∶Al薄膜性能的影响
《金属热处理》2016年第7期87-90,共4页杨恢东 张翠媛 王河深 李姗 李心茹 吴浪 
广东省教育部产学研结合项目(2012B091000111);中央高校基本科研业务费专项基金(21612412);广东省科技计划项目(2014A010106014)
采用直流磁控溅射技术,以掺Al为2%的Zn O陶瓷靶为靶材,通用的304不锈钢为衬底,制备了一系列Zn O∶Al薄膜,研究了溅射功率对样品薄膜结构和表面形貌、光学特性的影响。结果表明:制备的薄膜都为六方纤锌矿结构,并有高度的c轴择优取向;溅...
关键词：直流磁控溅射 ZAO薄膜 不锈钢衬底 溅射功率 
溅射功率对磁控溅射ZnO∶Al(ZAO)薄膜性能的影响被引量：4
《功能材料》2015年第8期8028-8030,共3页高立华 郑玉婴 
福建省自然科学基金资助项目(2012J01016)
采用射频磁控溅射工艺,以高密度氧化锌铝陶瓷靶为靶材,衬底温度控制在室温,在玻璃基底上制备了透明导电ZnO∶Al（ZAO）薄膜.利用X 射线衍射仪（XRD）、原子力显微镜（AFM）、紫外G可见光谱仪和范德堡法,系统研究了不同溅射功率对薄膜的...
关键词：ZAO薄膜 溅射功率 方块电阻 透过率 
磁控溅射工艺参数对ZAO薄膜性能的影响被引量：2
《材料保护》2014年第S1期137-139,共3页刘沅东 张宁 汤清琼 余新平 张至树 
通过磁控溅射氧化铝锌陶瓷靶材的方法在玻璃基片上制备ZAO薄膜,研究了溅射电流、溅射气压、基片温度对ZAO膜电学及光学性能的影响,使用X射线衍射仪分析了薄膜相结构,使用台阶仪测试薄膜厚度,使用四探针方阻仪测试薄膜电阻率,采用紫外可...
关键词：磁控溅射 ZAO薄膜 工艺参数 电阻率 透过率 结晶性能 
氧掺杂对磁控溅射ZAO薄膜性能的影响
《真空》2014年第1期41-43,共3页刘沅东 张宁 余新平 张至树 汤清琼 
通过磁控溅射氧化铝锌陶瓷靶材的方法在玻璃基片上制备ZAO薄膜,研究了不同氧掺杂量对于ZAO膜电学及光学性能的影响,使用X射线衍射仪衍射分析了薄膜相结构,使用四探针方阻仪测试薄膜的方阻,采用紫外可见分光光度计测试薄膜透过率。结果表...
关键词：磁控溅射 ZAO薄膜 氧含量 
工作压对射频磁控溅射ZAO薄膜微结构及光电性能影响的研究被引量：1
《人工晶体学报》2013年第9期1857-1863,共7页朱华 万文琼 况慧芸 冯晓炜 
江西省教育厅科技项目(GJJ13639)
运用射频磁控溅射技术,改变工作压(3～10 Pa)在玻璃衬底上生长透明导电ZnO∶Al(ZAO)样品,采用XRD、紫外-可见分光光度计、霍尔效应测量仪及SEM对薄膜微结构、厚度及其光电性能表征。结果发现:随着工作压增大,样品XRD曲线由多峰转变为(0...
关键词：ZAO薄膜 透射率 电阻率 
原子力显微镜在ZAO薄膜表征中的应用
《北京石油化工学院学报》2013年第2期17-21,共5页杨英歌 卢一民 王新如 李小波 
北京石油化工学院本科生研究计划资助项目;项目号:2011J00105
利用磁控溅射法在溅射功率分别为30,50,80,100W条件下制备ZAO薄膜,并通过原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)谱对制得的薄膜样品进行表面形貌、结构特性和黏附性能进行研究。XRD结果表明,随着溅射功率的增加,ZAO薄膜呈现了明显的(002)...
关键词：ZAO薄膜 射频磁控溅射 原子力显微镜 黏附力 
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