ZAO薄膜的制备方法及研究趋势  

作　　者：张宇 

机构地区：[1]辽宁开放大学,辽宁沈阳110034

出　　处：《电大理工》2021年第4期6-9,15,共5页Study of Science and Engineering at RTVU.

摘　　要：ZAO薄膜具有较高的可见光区透射率(T≥85%)、优良的导电性、微波强衰减性(衰减率≥80%),应用于伪装隐身技术、平板显示、太阳能电池、反射热镜、气体敏感器件、特殊功能窗口涂层等领域。制备ZAO薄膜的原料无毒无污染,储量丰富,成本低廉,制造工艺简单,且在等离子体中稳定性好,逐渐成为ITO的热门替代产品,尤其是在太阳能电池透明电极、平板显示器件领域。ZAO薄膜的制备方法主要有溶胶-凝胶法、化学气相沉积法、脉冲激光沉积法、喷雾热解法、磁控溅射法等,最后总结了ZAO的应用领域,并对ZAO薄膜的发展趋势进行了展望。

关 键 词：ZAO薄膜 透明导电薄膜 制备方法 研究趋势 

分 类 号：TB304[一般工业技术—材料科学与工程]