基底温度

作品数：89被引量：226H指数：7
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蒸发因素对高密度焦平面铟凸点制备影响研究
《红外与激光工程》2025年第1期137-145,共9页宝鹏飞 朱宪亮 于春蕾 杨波 邵秀梅 李雪 刘大福 
国家重点研发计划项目(2023YFF0713602)。
高一致性、高深宽比凸点制备是高密度红外焦平面制造的关键技术之一。以10μm间距铟凸点阵列为研究对象,通过提取铟凸点高度、顶部直径、生长速率纵横比和铟膜粗糙度等参数,结合薄膜形核生长理论,深入分析热蒸发过程中关键因素对铟凸点...
关键词：红外焦平面 铟凸点 热蒸发 基底温度 沉积速率 
基底温度对磁控溅射制备NiO_(x)薄膜综合电致变色性能的影响
《人工晶体学报》2024年第8期1453-1463,共11页蔡晓佳 黄家健 孙丹丹 梁嘉盈 唐秀凤 张炯 
国家自然科学基金(12004285);五邑大学创新创业基金(2022CX47)。
为研究基底温度对NiO_(x)薄膜综合电致变色性能的影响,在基底温度分别为室温、50、100、200和300℃下,采用直流反应磁控溅射法制备了NiO_(x)薄膜,并对薄膜的形貌、循环稳定性、光学调制率、记忆效应、响应时间和附着力等性能进行测试表...
关键词：电致变色 NiO_(x) 响应时间 记忆效应 循环稳定性 附着力 
基底温度对射频磁控溅射PI基ITO薄膜的影响被引量：1
《微纳电子技术》2023年第6期965-970,共6页刘祖一 徐文正 杨旭 汪邓兵 丁正钰 张海峰 许召辉 凤权 
安徽省自然科学基金面上项目(2008085ME139);芜湖市核心技术攻关项目(2021hg09)。
采用射频(RF)磁控溅射法在柔性耐高温聚酰亚胺(PI)薄膜上沉积了氧化铟锡(ITO)薄膜,研究了基底温度对ITO薄膜性能的影响。运用四探针测试仪研究了基底温度对ITO薄膜方块电阻及电阻率的影响,并用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)研...
关键词：射频(RF)磁控溅射 柔性材料 基底温度 氧化铟锡(ITO)薄膜 柔性导电 
基底温度对氧化铂薄膜结构与催化性能的影响被引量：1
《稀有金属材料与工程》2022年第9期3466-3472,共7页沈月 李思勰 唐玲 王传军 许彦亭 闻明 
昆明市科技计划重点项目(2019-1-G-25318000003405);云南省创新团队项目(2019HC024);昆明市稀贵金属溅射靶材科技创新团队项目(13020169)。
氧化铂电极是安全壳内置氢浓度监测传感器的重要元件,因其力学和电催化性不足而使氢传感器处于瓶颈,限制了我国AP1000技术的全面国产化。采用反应磁控溅射法在铂基材上成功制备出氧化铂薄膜电极,并探究了不同基底温度对薄膜组成、形貌...
关键词：磁控溅射 氧化铂 微观结构 电催化性能 
PLD法制备ITO导电薄膜及其性能被引量：2
《微纳电子技术》2022年第2期180-186,共7页姚雪 谭秋林 
国家自然科学基金资助项目(U1837209,51875534);国家重点研发计划资助项目(2018YFB2003103)。
为了研制可用于高温环境下进行应变测量的应变层,采用脉冲激光沉积(PLD)法在陶瓷基底上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜。研究了PLD法中不同基底温度对ITO薄膜显微结构、电学性能以及阻温特性的影响。采用X射线衍射仪(XRD)测试了薄膜的晶体结构...
关键词：脉冲激光沉积(PLD) 基底温度 氧化铟锡(ITO)薄膜 应变测量 电阻温度系数(TCR) 
氮氩流量比与基底温度对射频溅射TiN薄膜性能的影响被引量：3
《电镀与涂饰》2021年第23期1776-1780,共5页李学瑞 曹振 于公奇 张海平 李文博 李炯利 王旭东 
国家自然科学基金(51802296);北京市科技新星计划(Z191100001119102)。
采用射频磁控溅射技术,以纯钛为靶材,氮气为反应气体,通过改变氮氩流量比与基底温度在304不锈钢及玻璃表面制备了不同的TiN薄膜。利用能谱仪、扫描电镜、台阶仪、四探针仪、划痕仪和纳米压痕仪对制备的所制薄膜的氮钛原子比、表面形貌...
关键词：氮化钛 射频磁控溅射 氮氩流量比 基底温度 微观形貌 沉积速率 力学性能 方块电阻 
基底温度对三氧化钨薄膜光电化学性能的调控研究被引量：2
《材料科学与工艺》2021年第5期63-69,共7页杨镜鑫 赵佳萍 郭佳兴 熊彪 林永乐 王进 曹林洪 熊政伟 符亚军 
四川省科技厅重点项目(2020YJ0333);西南科技大学博士基金(19ZX7131、18ZX7132)。
由于环境友好性、高的地球丰度和稳定的物理化学性质,三氧化钨在光电响应、光催化领域应用潜力巨大,受到了人们的广泛关注。薄膜形态的光催化材料能够避免粉体材料的团聚问题,并且在转移、回收再利用方面优势明显,因此制备用于光催化的...
关键词：基底温度 磁控溅射 三氧化钨 光电响应 光催化薄膜 
磁控溅射基底温度对低矫顽力Fe-Si薄膜磁性能的影响被引量：3
《粉末冶金工业》2021年第3期32-38,共7页李同奎 周春霞 严鹏飞 严彪 
本文采用直流磁控溅射法,在不同基地温度下溅射铁硅合金薄膜,获得低矫顽力软磁薄膜。基底温度升高,薄膜结晶度升高,内应力降低,矫顽力降低,当基底温度高于140℃时,基底中的Si向薄膜中扩散,薄膜磁矩被稀释,矫顽力升高,饱和磁化强度降低。...
关键词：磁控溅射 Fe-Si薄膜 基底温度 磁性能 低矫顽力 
基底加热温度对ITO薄膜的性能影响研究被引量：3
《人工晶体学报》2021年第5期858-865,共8页王欣月 张兆诚 黎智杰 何婉婷 温锦秀 罗坚义 唐秀凤 王忆 
国家自然科学基金(51802229);广东省自然科学基金(2018A030313561);2020年广东大学生科技创新培养专项资金(pdjh2020b0609)。
氧化铟锡(ITO)薄膜被广泛用作光电器件中的透明导电电极,其透光率、导电性、表面粗糙度、与基底的功函数匹配及其电流传输特性都会对光电器件的性能造成影响。本文采用射频(RF)磁控溅射方法制备ITO薄膜,系统研究了基底加热温度对其各方...
关键词：基底温度 ITO透明导电薄膜 载流子浓度 光电特性 功函数 
基底温度对环氧树脂喷涂层耐磨性的影响被引量：1
《浙江工业大学学报》2020年第5期485-489,共5页郑晓华 王涛 王遵圣 杨伟方 杨芳儿 
浙江省重点研发计划项目(2019C01088)。
采用粉末喷枪在不同加热温度的Q235B钢板表面喷涂环氧树脂粉末制备环氧树脂防护涂层。使用差示扫描量热仪、维氏硬度计、球盘式摩擦磨损试验机、台阶仪等对涂层的固化度、硬度以及大气环境(相对湿度≈45%)中的摩擦学性能进行表征,采用...
关键词：涂覆钢管 环氧树脂 摩擦与磨损 涂层 
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