现代气动技术理论与实践 第七讲:电/气伺服阀  

作　　者：蔡茂林[1] 

机构地区：[1]北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院,北京100083

出　　处：《液压气动与密封》2008年第2期50-53,共4页Hydraulics Pneumatics & Seals

摘　　要：0前言 由于伺服电动机、步进电动机等电气伺服驱动机构在工业现场的日益普及，气动伺服系统通常仅限于在高湿度、强磁场、要求防爆等恶劣环境下使用。近些年，由于空气的柔软性以及使用中不产生热和磁场等优点被重新认识，半导体精密制造中光刻机用的减振台、医疗仪器、康复设备上开始出现气动伺服系统的身影，并有逐步扩大的趋势。

关 键 词：气动技术 伺服阀 气动伺服系统 伺服驱动机构 伺服电动机 步进电动机 工业现场 精密制造 

分 类 号：TH138[机械工程—机械制造及自动化] TH137.52