热化学纳米光刻术  

出　　处：《光学精密机械》2007年第4期1-1,共1页Optics and Fine Mechanics

摘　　要：美国乔治亚工学院研究人员称，他们已成功开发出一种纳米光刻术。这种新型纳米光刻术不仅速度极快，而且能够用于包括空气和液体等多种工作环境。

关 键 词：光刻术 纳米 热化学 研究人员 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学] TB383[一般工业技术—材料科学与工程]