光刻术

作品数：33被引量：20H指数：3
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光刻投影物镜畸变检测技术被引量：5
《激光与光电子学进展》2022年第9期206-222,共17页曹译莎 唐锋 王向朝 刘洋 冯鹏 卢云君 郭福东 
国家科技重大专项(2017ZX02101006)。
光刻投影物镜的畸变是影响光刻机套刻精度最重要的因素之一,畸变会导致物镜的横向放大率随视场的增大而变化,曝光到硅片上的图形相对于其理想位置发生偏移,从而引起套刻误差。在物镜的装调和使用过程中都需要对畸变进行检测和优化调整,...
关键词：测量与计量 光刻术 畸变检测 曝光 空间像传感器 相位测量干涉仪 
双工件台光刻机中的焦面控制技术被引量：5
《光学学报》2012年第12期234-238,共5页李金龙 胡松 赵立新 
国家自然科学基金(61274108)资助课题
面对可用焦深日益缩短的趋势,高精度的焦面控制技术显得尤为重要。针对双工件台光刻机中采用的焦面控制技术,介绍了基于偏振调制的光栅检焦技术及其测量原理,研究了双工件台光刻机中的调平调焦技术。基于平面拟合、最小二乘法及坐标变...
关键词：光学器件 光刻术 调平调焦 双工件台光刻机 
美开发新纳米光刻术 医学应用前景广阔
《半导体信息》2008年第1期16-16,共1页江兴 
关键词：医学应用 电子业 热化学 工作环境 化学物质 
热化学纳米光刻术
《光学精密机械》2007年第4期1-1,共1页
美国乔治亚工学院研究人员称，他们已成功开发出一种纳米光刻术。这种新型纳米光刻术不仅速度极快，而且能够用于包括空气和液体等多种工作环境。
关键词：光刻术 纳米 热化学 研究人员 
美开发出热化学纳米光刻术
《光学仪器》2007年第5期89-89,共1页
美国乔治亚工学院研究人员称，他们已成功开发出一种纳米光刻术。这种新型纳米光刻术不仅速度极快，而且能够用于包括空气和液体等多种工作环境。
关键词：光刻术 纳米 开发 热化学 研究人员 
美开发新纳米光刻术 医学应用前景广阔
《纳米科技》2007年第5期71-71,共1页
美国乔治亚工学院研究人员称，他们已成功开发一种纳米光刻术。这种新型纳米光刻术不仅速度极快，而且能够用于包括空气和液体等多种工作环境。
关键词：光刻术 纳米 医学应用 开发 研究人员 
国外科技进展新闻
《中国高校科技与产业化》2007年第9期6-6,共1页
美国开发出热化学纳米光刻术,以色列研制成低成本太阳能光电池.
关键词：科技进展新闻 国外 光刻术 热化学 光电池 太阳能 低成本 以色列 
步进扫描投影光刻机剂量控制参量优化新算法研究被引量：1
《光学学报》2006年第8期1192-1197,共6页刘世元 吴小健 
国家自然科学基金(50205009;50575078)资助课题
提出了一种以生产率、剂量精度与激光器使用成本三者最佳匹配为优化目标的步进扫描投影光刻机剂量控制参量优化新算法及其数学模型,通过将激光器重复频率作为可调参量并引入有效脉冲个数的概念,获得了有效剂量区间内任意给定剂量所应采...
关键词：深紫外准分子激光 剂量控制 扫描曝光 光刻术 优化算法 
蘸笔纳米光刻术的新应用被引量：2
《现代科学仪器》2006年第2期10-13,共4页梁蕾 刘之景 
蘸笔纳米光刻术(Dip-pennanolithography,DPN)利用原子力显微镜(AFM)的探针把“墨水”分子传输至基底表面,使之形成自组装单分子层。DPN作为一种在物质表面构造纳米结构的技术,以其高分辨率、定位准确和直接书写等优点,在物理、化学、...
关键词：蘸笔纳米光刻术 自组装单分子层 直接书写 定位精确 高分辨率 
亚硫酸根离子在硅和二氧化硅的湿法腐蚀中的作用(英文)被引量：1
《物理化学学报》2004年第6期612-615,共4页欧阳贱华 吴念祖 赵新生 
国家重点研究发展规划(TG1999075305,TG2000077503);国家自然科学基金(29973003,20333010)资助项目~~
运用光刻技术和原子力显微技术(AFM)研究了亚硫酸根离子对硅和二氧化硅在40％(w)氟化铵水溶液中腐蚀速率的影响.结果表明硅和二氧化硅的腐蚀速率和亚硫酸根离子浓度有关.高分辨X射线光电子能谱(XPS)分析在有/没有亚硫酸根的溶液中腐蚀...
关键词：硅 二氧化硅 腐蚀速率 氟化铵 亚硫酸铵 光刻术 
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